中硅高科两项半导体质料科技效果获评国际领先
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宣布时间：2026年05月21日
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克日，，， ， ，，中硅高科牵头完成的两项半导体质料手艺通过院士专家组评审，，， ， ，，整体抵达国际领先水平。。。
其中，，， ， ，，“宽禁带半导体用超高纯碳化硅质料制备要害手艺”首创气相法工艺，，， ， ，，建成海内首条年产300吨生产线，，， ， ，，整体抵达国际领先水平。。。“集成电路用电子级六氯乙硅烷制备要害手艺”整体抵达国际先进水平，，， ， ，，颗粒度控制抵达国际领先水平。。。这标记着我国第三代半导体及高纯电子特气领域国产化实现重大突破。。。
